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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 서대식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202100010798 |
과제고유번호 | 1345332712 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-04-16 |
키워드 | 반사방지 필름.나노 패터닝.리소그래피.산화막 패턴.주름 패턴.anti reflection film.nano patterning.lithography.oxide pattern.wrinkle pattern. |
□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
주기성을 갖는 나노구조의 주름 패턴과 용액 공정의 산화 막을
이용한 반사방지 기판용 패터닝 공정 기술 개발
○ 전체 내용
1000nm 이하의 주름 패턴을 용액 공정 기반 산화막에 전사하여 산화막 패턴을 제작하고, 이를 하드 마스크로 하여 건식 식각을 통해 기저 물질을 패터닝하는 공정을 개발. 패턴 크기 및 높이를 제어하여 반사율을 낮추고, 주기성을 갖는 다양한 패턴 확보를 통해 빛의 입사각에 의존하지 않도록 하여 반사방지 특성을 향상 시키고자 함.
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