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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 김윤영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100011345 |
과제고유번호 | 1345345841 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-04-30 |
키워드 | 탄소.박막.레이저 초음파.재료평가.비파괴평가.Carbon.Thin film.Laser ultrasonics.Materials characterization.Nondestructive evaluation. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
본 연구는 레이저 초음파 기법을 이용하여 나노미터 스케일의 탄소기반 박막재료 특성을 비파괴 평가하는 것을 목표로 한다.
■ 전체 내용
펄스 레이저를 사용하여 초음파를 발생시키고 간섭계를 사용하여 그 전파거동을 살펴봄으로써 박막의 기계적 물성을 평가한다. 아울러, 탄화규소 및 다이아몬드상 탄소 박막을 제작하여 크기효과와 공정조건에 따른 특성 변화를 연구한다.
■ 1단계(해당 시 작성)
❍ 목표 : 레이저 초음파 기법을 이용한 탄소기반 박막재료 특성평가
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