초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
￭ 최종 목표
최적의 CNW를 활용한 고효율 스마트센서 제작.
￭ 전체 내용
CNW를 활용한 고효율 스마트센서 개발을 위해 기판 종류에 따른 CNW의 성장 특성조사 및 성장제어 기술의 확보 후, 플라즈마 전·후처리와 열처리에 따른 CNW의 성장 특성을 확인하고, 플라즈마 에칭을 통한 CNW의 patterning과 sputtering 장비를 사용한 박막 코팅을 통해 CNW의 특성을 향상을 목표로 함.
￭ 1단계(해당 시 작성)
• 목표 : Microwave PECVD(P

□ 연구개발 목표 및 내용
￭ 최종 목표
최적의 CNW를 활용한 고효율 스마트센서 제작.
￭ 전체 내용
CNW를 활용한 고효율 스마트센서 개발을 위해 기판 종류에 따른 CNW의 성장 특성조사 및 성장제어 기술의 확보 후, 플라즈마 전·후처리와 열처리에 따른 CNW의 성장 특성을 확인하고, 플라즈마 에칭을 통한 CNW의 patterning과 sputtering 장비를 사용한 박막 코팅을 통해 CNW의 특성을 향상을 목표로 함.
￭ 1단계(해당 시 작성)
• 목표 : Microwave PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 이용하여 기판과 성장 조건에 따른 탄소나노월을 합성.
• 내용 : 성장된 탄소나노월의 다양한 특성들을 분석하여 성장 제어 기술을 확보하고, 스마트센서에 최적화된 탄소나노월을 도출하도록 한다.
￭ 2단계(해당 시 작성)
• 목표 : Microwave PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 이용하여 성장한 탄소나노월의 후처리 공정 진행.
• 내용 : 표면 개질된 탄소나노월의 다양한 특성들을 분석하여 스마트센서에 최적화된 전기적, 화학적, 구조적 특성을 도출한다.
￭ 3단계(해당 시 작성)
• 목표 : 탄소나노월의 새로운 패턴기술을 통해 고효율 스마트센서를 제작하고 제작된 샘플의 성능을 평가.
• 내용 : 스마트센서의 성능 평가를 통해 개선되어야할 사항을 검토하여 탄소나노월을 전극으로 활용한 스마트센서를 최적화한다.

□ 연구개발성과
1. 탄소나노월의 전기전도성을 향상시키기 위한 추가 전도막 증착 및 증착 조건등의 최적화
2. 기존에 적용시키기 어려웠던 탄소나노월의 패터닝 기술에 관한 연구
3. 탄소나노월이 적용된 스마트센서 제작

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
탄소나노월에 적용되었던 최적화 방안 및 패터닝 기술을 추가적으로 탄소나노튜브 등의 탄소동소체에 적용하여 활용할 수 있을 것으로 기대됨.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요약문 ... 2
• 목차 ... 4
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 5
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• 1) 1차년도 (2018.06.01. ~ 2019.02.28.) ... 5
• 2) 2차년도 (2019.03.01. ~ 2020.02.28.) ... 5
• 3) 3차년도 (2020.03.01. ~ 2021.02.28.) ... 6
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 6
• 1) 1차년도 (2018.06.01. ~ 2019.02.28.) ... 6
• 2) 2차년도 (2019.03.01. ~ 2020.02.28.) ... 14
• 3) 3차년도 (2020.03.01. ~ 2021.02.28.) ... 22
• 4) 연구수행 성과 ... 26
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 37
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 37
• 6. 참고문헌 ... 38
• 끝페이지 ... 38