초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
￭ 최종 목표 : 나노분말 기반 광학필터 개발
￭ 전체 내용
- 레이저 간섭 리소그래피 기술을 이용하여 광학필터용 다차원 나노구조체 개발
- 광학필터의 기능 향상을 위한 혼합나노분말 적용 기술 개발
- 혼합나노분말 기반 다기능성 광학필터 제작 및 성능 평가

□ 연구개발성과
- 레이저 간섭 리소그래피 기술을 이용하여 광학필터용 다차원 나노구조체 개발
: 패턴 Edge 의 안정성을 위한 노광 조건 최적화
: 입사각의 증가에 따른 패턴의 크기와 패턴

□ 연구개발 목표 및 내용
￭ 최종 목표 : 나노분말 기반 광학필터 개발
￭ 전체 내용
- 레이저 간섭 리소그래피 기술을 이용하여 광학필터용 다차원 나노구조체 개발
- 광학필터의 기능 향상을 위한 혼합나노분말 적용 기술 개발
- 혼합나노분말 기반 다기능성 광학필터 제작 및 성능 평가

□ 연구개발성과
- 레이저 간섭 리소그래피 기술을 이용하여 광학필터용 다차원 나노구조체 개발
: 패턴 Edge 의 안정성을 위한 노광 조건 최적화
: 입사각의 증가에 따른 패턴의 크기와 패턴의 안정성을 분석
: 패턴 배열에 대한 광학적 분석을 진행
- 광학필터의 기능 향상을 위한 혼합나노분말 적용 기술 개발
: 회전속도, 회전각 등의 분말 혼합조건에 따른 특성 분석
: 분말의 개수와 분말의 충전 상태에 따른 혼합 특성을 분석
: 혼합 분말의 형태 조건, 고체윤활제 첨가 조건을 제어하여 분말 증착
- 혼합나노분말 기반 다기능성 광학필터 성능 평가
: 나노분말의 크기와 배열 방식에 따른 광학 특성을 분석
: 나노분말 기반 구조체의 광학적 및 기계적 특성 확인

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
- 나노 공정 기술과 혼합 나노분말의 활용을 통해 고기능의 나노구조체 개발에 대한 기술 확보
- 혼합 나노분말로 제작된 나노 구조체에 대한 광학적 특성 향상 및 구조적 안정성 확보에 대한 해석 기술 확보

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 4
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 6
• 3-1. 연구 개발 결과 ... 6
• 3-2. 목표 달성 수준 ... 13
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 14
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 14
• 6. 참고문헌 ... 15
• 끝페이지 ... 16