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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부경대학교 Pukyong National University |
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연구책임자 | 박운익 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100012446 |
과제고유번호 | 1345313516 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 16 나노급 패턴.블록공중합체.자기조립.나노/마이크로 공정기술.소프트 임프린트.패턴전사프린팅.광리소그래피. |
□ 연구개요
광리소그래피를 이용하여 고정렬성의 16 nm급 나노구조물을 원하는 기판 위에 형성하기 위해서는 많은 시간과 큰 비용이 요구된다. 그리고, 광리소그래피를 통해서 계층구조를 갖는 3차원 기능성 나노구조물 형성이 거의 불가능하다. 이러한 문제점을 해결하기 위해서 우선, 마이크로 크기의 큰 패턴은 광리소그래피 공정을 통하여 형성하고, 16 nm급 초미세 나노구조물은 블록공중합체 자기조립 공정 도입이 필요하다. 하지만, 광리소그래피와 분자자기조립 두 공정만으로는 계층구조의 초미세 나노구조물의 3차원 적층이 쉽지 않을 뿐만
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