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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술대학교 Korea Polytechnic University |
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연구책임자 | 이성남 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100012599 |
과제고유번호 | 1345318419 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-21 |
키워드 | 산화아연.분극.무분극.쇼트키 다이오드.초격자.박막.수소.자외선.센서. |
□ 연구개요
ㅇ 본 연구에서는 산화아연계 반도체 박막의 분극 특성을 제어하고, 더욱 효과적인 센싱 능력을 향상시키기 위해 삼원계/사원계 및 초격자 구조를 도입하여 고효율 무분극 ZnO계 가스 센서를 개발하였다.
㉮ 원자층 증착법을 바탕으로 ZnO계 박막의 분극 제어 기술을 개발
㉯ 무분극 Al-Ga-ZnO를 이용한 삼원계/사원계 박막을 통한 전기적 특성 향상
㉰ 무분극 ZnO/절연층의 초격자 구조를 통한 센싱 영역의 전기적 특성 향상 기술
㉱ 무분극 산화아연계 금속-반도체-금속, FET 및 Scho
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