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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
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연구책임자 | 조찬섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100012947 |
과제고유번호 | 1345316357 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-09-04 |
키워드 | 다공성 나노구조.유체흐름 스퍼터링.표면증강 라만 산란.3차원 나노구조.생체의학 센서. |
□ 연구개요
본 연구는 반도체공정을 이용하여 3차원 미세구조와 기판 표면에 광‧화학적 특성을 극대화시키는 후각섬모와 유사한 다공성 나노구조 금속박막을 형성하여 화학 및 생체의학 센서에의 응용을 목표로 한다. 이를 위해 본 연구에서는 Grid를 사용한 RIE를 이용하여 Si 표면에 사진식각공정 없이 3차원 미세구조를 형성하는 표면 요철화 공정기술과 GFS(Gas flow Sputtering)을 이용하여 금, 은, 구리등 3차원 다공성 나노구조 금속박막을 증착하는 공정을 구현하고, SERS 기반의 초고감도 질병인자 검출로 조기 진
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