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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 김진교 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100013461 |
과제고유번호 | 1345314263 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-09-11 |
키워드 | 질화갈륨.무극성.반극성.극성.극성제어.결정성 결함 제어. |
□연구개요
본 연구 과제의 목표는 극성, 무극성, 반극성 질화갈륨의 수평 방향 극성 제어 및 결정 성장 특성 연구를 통해, 도메인 내부에서의 결정성 결함 생성 원리를 규명하고, 궁극적으로 결함이 제어된 질화갈륨 도메인 성장 및 물성연구이다.
□연구 목표대비 연구결과
1차 년도
- 다양한 기판에서 성장된 질화갈륨의 극성 제어를 위한 실험 변수 도출
- 극성 제어된 질화갈륨 성장 및 성장 특성 분석
- 극성 제어 질화갈륨 위에 성장된 이종 박막의 물성 변화 연구
- 극성 제어 성장에 대한 g
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