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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 이재호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100013613 |
과제고유번호 | 1345316858 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-09-11 |
키워드 | Alloy electroplating.Ni-Co.Nanocrystalline.MEMS probe.Residual stress. |
□ 연구개요
본 연구의 목적은 내부응력이 낮으면서 고경도 니켈-코발트 합금 도금층 개발에 있다. 도금용액의 조성을 변화시켜 고경도를 가지는 니켈-코발트 도금층의 조성을 제어하며 전류밀도, 첨가제등을 변화시켜 잔류응력과 표면 형상을 제어한다. 니켈-코발트 도금층의 코발트 양이 늘어날수록 도금층의 경도가 증가하였으며 이는 니켈-코발트 합금의 나노결정상 생성에 기인한다. 니켈-코발트 도금층의 코발트 함량이 20%에서 표면경도가 Hv 500 이상이 되었다. 사카린을 첨가하였을 때 잔류응력이 인장응력에서 압축응력으로 변하였으며 잔류응력
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