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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전남대학교 Chonnam National University |
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연구책임자 | 김도형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100016187 |
과제고유번호 | 1711105077 |
사업명 | 나노·소재기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-11-13 |
키워드 | 페로브스카이트.화학기상증착.원자층 증착.반응기 설계.층덮임.Perovskite.CVD.ALD.Reactor Design.Step Coverage. |
⦁ 신개념 입자용 원자층 증착 반응기 개발 및 원천특허 국내외 출원 및 등록
⦁ 페로브스카이트를 구성하는 단일성분(NiOx, FeOx, CoOx, LaOx) 원자층 증착 공정 개발 및 응용
⦁ 이성분계원자층 증착 공정(NiFexOy) 개발 및 응용
⦁ 페로브스카이트 소재(LaCoxOy)용 원자층 증착 공정 개발
(출처 : 보고서 요약서 3p)
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