초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
3원계 미량의 M 원소가 도핑된 Pt-Ni (M=Mo, In, Cu. etc ..) 나노입자 촉매를 이중 판을 이용한 전기영동법과 전기도금을 통하여 (1) 높은 밀도의 나노입자를 포함하는 APT 분석용 tip을 제작하고, (2) APT 분석을 수행하여 3원계 나노입자의 3차원 정밀 화학분석을 수행
○ 전체 내용
(1) 높은 밀도의 나노입자를 포함하는 APT 분석용 tip을 제작
- 전기영동법 이후 1 μm 이상의 나노입자 층이 형성되었는가?
- 전기도금을 통하

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
3원계 미량의 M 원소가 도핑된 Pt-Ni (M=Mo, In, Cu. etc ..) 나노입자 촉매를 이중 판을 이용한 전기영동법과 전기도금을 통하여 (1) 높은 밀도의 나노입자를 포함하는 APT 분석용 tip을 제작하고, (2) APT 분석을 수행하여 3원계 나노입자의 3차원 정밀 화학분석을 수행
○ 전체 내용
(1) 높은 밀도의 나노입자를 포함하는 APT 분석용 tip을 제작
- 전기영동법 이후 1 μm 이상의 나노입자 층이 형성되었는가?
- 전기도금을 통하여 효과적으로 미세기공이 제거 되었는가?
- 최종적으로 만들어진 APT tip의 지름이 50 nm 이하인가?
(2) APT 분석을 수행하여 3원계 나노입자의 3차원 정밀 화학분석
- 3원계 나노입자의 각 원소들과 도금한 원소에 의한 local magnification 효과는 적절한가?
- 분석한 3원계 나노입자의 정밀조성분석이 가능한가?
- M doped Pt-Ni 나노입자내의 각 원소의 3차원 분포를 분석 가능한가?
- 내구성 시험 후 3차원 원자분포가 어떻게 달라지는가?

□ 연구개발성과
합성한 PtNiRh 나노입자의 정밀조성분석에 성공 (Pt 71.4 at. %, Ni 26.7 at. %, Rh 1.9 at. %)

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
본 연구성과를 활용하여 다양한 나노물질을 APT로 분석하는 연구에 활용할 수 있다. Bulk 재료와는 다르게 나노물질은 수 마이크로미터 이상의 크기를 갖지 않고 다양한 종류의 void가 존재하는데 본 연구를 통하여 개발된 이중판 전기영동과 전기도금을 통하여 free standing 나노물질을 도금층 내에 embedding 시킬 수 있을 것으로 기대되고 이를 활용하여 APT tip 제작 및 APT 분석이 가능할 것으로 기대된다. 또한 추후 연구로는 열처리 혹은 내구성 태스트 이후 다원계 나노입자의 원소분포의 변화를 관찰하는 등에 활용하고자 한다.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 4
• (1) PtNiRh 3원계 나노입자 합성 및 전기영동 ... 4
• (2) PtNiRh 나노입자를 포함한 Co 층의 전기도금 ... 5
• (3) FIB를 활용한 APT tip 제작 ... 6
• (4) Atom probe tomography 분석 ... 7
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 8
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 8
• 5. 연구개발성과 및 활용 계획 ... 9
• 6. 참고문헌 ... 9
• 끝페이지 ... 9