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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 송봉식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100018478 |
과제고유번호 | 1711118786 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-02-26 |
키워드 | 광자결정.실리콘카바이드.공진기.photonic crystal.silicon carbide.cavity. |
□ 연구개요
본 연구에서는 오존 기반 디지털 (단계적)후처리 공정를 이용하여 광통신 영역(1.55μm)에서 동작하는 실리콘 카바이드 광결정 나노 광공진기 특성 (공진파장, 품질값 ) 제어 기술을 개발하였음.
□ 연구 목표대비 연구결과
실리콘 카바이드는 다광자 흡수 억제, 초광대역 동작, 비선형 효과, 양자 준위 광결합 등의 장점으로 최근 나노 광소자 분야에서 크게 주목을 받고 있음. 한편, 실리콘 카바이드는 매우 높은 고온형성, Si-C 강한 공유 결합, Poly-type에 따른 다양한 구조체와 밴드갭을 가지
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