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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
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연구책임자 | 김지수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100018579 |
과제고유번호 | 1711118766 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-03-05 |
키워드 | 대면적 플라즈마 전자빔.다이아몬드상 카본코팅.밀착력.저마찰.표면개질.Large area plasma EB.DLC coating.Adhesion.Low friction.Surface modification. |
□ 연구개요
본 연구는 다이아몬드상 카본코팅 (DLC)의 중간층을 대체하는 방법으로 전자빔 표면처리를 제시하고 해당 공정의 밀착력 향상 메커니즘을 밝혀내며, 하이브리드/플라즈마 에너지빔 전/후처리를 통한 표면개질을 목표로 한다. 특히 전자빔처리 표면의 경도, 열팽창률의 변화와 모재의 상변화를 통하여 카본코팅의 밀착력을 향상시키고자 하였다. 또한, 레이저 선조사 (Pre-irradiation)를 통한 Defect-free interlayer 제작 공정을 설계하고 카본코팅 후 플라즈마 전자빔 조사를 통해 표면의 작용기 개질을 수행
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