최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
---|---|
연구책임자 | 김윤석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100018613 |
과제고유번호 | 1711118052 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-03-05 |
키워드 | 산화물.강유전성.이온 빔.원자현미경.HfO2.Oxides.Ferroelectricity.Ion beam.Piezoresponse force microscopy. |
□ 연구개요
본 과제는 "HfO2 기반 산화물 박막에서의 이온 빔 조사를 통한 강유전 특성 변화 분석"을 최종 목표로 최근 주목 받고 있는 HfO2 기반 산화물에서 이온 빔 조사에 따른 강유전 특성의 변화를 관찰하고 관련 상관관계를 규명하였음. 이전 HfO2 기반 산화물에서 강유전성을 발현시키기 위한 연구들은 단순히 열처리 조건을 포함하는 성장 조건과 wake-up process 등의 후처리 공정 등에 대한 연구로써 국한되어 있기 때문에, 이온 빔 조사를 통한 defe
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.