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NTIS 바로가기주관연구기관 | 가천대학교 Gachon University |
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연구책임자 | 조성재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-04 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100019863 |
과제고유번호 | 1711085954 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-03-26 |
키워드 | 반도체소자.실리콘 공정.차세대 집적시스템.광검출기.가시광선통신.브래그 반사경.메모리.로직.광학배선기술. |
□ 연구개요
본 연구에서는 실리콘 공정이 가능한 물질과 공정을 기반으로 하여 차세대 집적시스템을 구성하는 광학 및 전자소자 요소 기술들의 개발을 목표로 하였다. 완전한 실리콘 공정 호환성을 가지면서도 광신호를 수신하는 passive 소자들을 제작하고 또한 이들과 동시 집적하기 위해서는 시스템의 최상부에 공간적 배치를 할 수 있도록 해주는 폴리 실리콘을 기반 물질로 삼아, 로직 및 메모리, photodetector, Si 기반의 DBR(distrubuted Bragg reflector) 등 다양한 요소 기술 및 집적공정을 개발하
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