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실시간 보정형 롤투롤 패터닝 장비 핵심기술 개발
Development of core technology for real-time compensated roll-to-roll patterning system 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 장원석
참여연구자 한재원 , 유홍기 , 송영호
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2020-12
과제시작연도 2020
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202100022095
과제고유번호 1711125542
사업명 한국기계연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비)
DB 구축일자 2021-10-23
키워드 유연전자소자.마스크리스 광패터닝.실시간 보정.롤투롤.Flexible electronics.maskless photolithography.in-line compensation.roll-to-roll.

초록 ▼

1. 연구개발 목표
◦ 최종 연구 목표: 고성능 유연 및 스마트 전자소자 제조용 유연기판 롤투롤 디지털 패터닝을 위한 핵심기술을 개발함
- 마스크리스 노광을 위한 SLM(Spatial Light Modulation) 모듈을 이용한 디지털 패턴 형성과 고속/고해상 패터닝용 노광기 구동 메커니즘 개발
- 고속 레이저 스캐닝 방식의 노광장치용 폴리곤 스캐너 및 데이터 처리 기술 개발
- 롤투롤 장비에서의 ZERO 슬립 및 기판변형 최소화 이송을 위한 정밀 측정 및 제어기술 개발

(출처 : 본문 1. 연구

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연차 연구보고서 ... 2
  • 1. 연구개발 목표 ... 3
  • 2. 내용 및 결과 ... 4
  • 가. μOptic 기반 고해상도 디지털 패터닝 핵심 기술 ... 4
  • 나. 유연/신축 기판 레이저 고속 멀티스케일 패터닝 기술 ... 8
  • 다. 필름 변형 최소화 연속생산 플랫폼 핵심 기술 ... 12
  • 3. 연구개발 목표의 달성도 ... 17
  • 가. 최종 연구목표 대비 진척도 ... 17
  • 나. 정성적 성과 ... 18
  • 다. 기술적 성과 ... 18
  • 라. 정량적 성과 ... 19
  • 4. 세부 연구성과 ... 20
  • 가. 논문 게재 성과 ... 20
  • 나. 특허 성과 ... 20
  • 다. 소프트웨어 성과 ... 21
  • 라. 기술료 징수 현황 ... 21
  • 마. 학술회의 개최 성과 ... 21
  • 바. 경제사회 파급효과 ... 21
  • 5. 구매금액이 3천만원 이상인 연구시설·장비 구매현황 ... 21
  • 6. 연구비 집행실적 ... 22
  • 7. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 23
  • 8. 당해연도 연구수행 중 주요 연구변경 사항 ... 23
  • 9. 그 밖에 건의하고 싶은 사항 ... 23
  • 참고문헌 ... 24
  • 끝페이지 ... 26

표/그림 (30)

참고문헌 (25)

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