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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)지우기술 |
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연구책임자 | 장세헌 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 중소벤처기업부 Ministry of SMEs and Startups |
등록번호 | TRKO202100022563 |
과제고유번호 | 1425147871 |
사업명 | 지역특화산업육성+(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-11-06 |
키워드 | OLED 디스플레이.유기재료.진공정제.승화장비.생산성향상.OLED Display.Organic Materials.Vacuum Purifying.Sublimation System.Productivity Enhancement. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
생산성이 2배 이상 및 수율이 90% 이상 향상된 최고 성능의 대용량 진공정제장비 개발로 경쟁사 대비 우수한 장비 기술력을 확보
■ 전체 내용
1. 재료 장입부 및 재료 회수부 온도 Uniformity, 5 point 평균값 ±2℃ 이내 구현 Heater 개발
2. 재료 장입부 및 재료 회수부 등온구역 750mm 구현 Heater 개발
3. 1회장입량 6 kg 이상의 장입용 Inner Tube 구현
4. 대용량 회수가 가능한 비표면적이 증대한 회수용 In
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