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Kafe 바로가기주관연구기관 | 소모에너지엔테크놀러지 |
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연구책임자 | 주신철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005511 |
과제고유번호 | 1415164116 |
사업명 | 나노융합산업핵심기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-30 |
제 1 장 서론
제 1 절 과제의 개요
□ 개발 대상 기술․제품의 개요
① 개발 대상 제품의 구성 및 용도
ㅇ 1~10 THz 대역 감지가 가능한 2D Focal Plane Array(FPA) 센서 및 이에 기반한 THz 카메라
- Antenna-Coupled Bolometer 방식의 THz 이미지 센서 : 각 화소에 입사된 THz파를 안테나로 수신해 나노구조체로 이뤄진 부하 저항에서 발생한 열을 온도에 따른 저항 변화가 큰 물질로 된 저항체를 이용해 전기 신호로 바꿔줌
- THz 센서와 렌즈, 필터
제 1 장 서론
제 1 절 과제의 개요
□ 개발 대상 기술․제품의 개요
① 개발 대상 제품의 구성 및 용도
ㅇ 1~10 THz 대역 감지가 가능한 2D Focal Plane Array(FPA) 센서 및 이에 기반한 THz 카메라
- Antenna-Coupled Bolometer 방식의 THz 이미지 센서 : 각 화소에 입사된 THz파를 안테나로 수신해 나노구조체로 이뤄진 부하 저항에서 발생한 열을 온도에 따른 저항 변화가 큰 물질로 된 저항체를 이용해 전기 신호로 바꿔줌
- THz 센서와 렌즈, 필터 등을 결합한 THz 카메라 : 외부의 THz 광원에서 검사대상 물체에 반사/투과되어 나온 THz파가 FPA 센서에 맺히도록 하는 광학계 및 센서 제어를 통한 영상 신호 처리
② THz파 센서 및 카메라의 필요성
ㅇ THz파의 특징 및 장점
- 0.1~10 THz의 주파수를 가진 전자기파의 한 영역으로 적외선과 마이크로파 사이로 빛과 전파의 중간적 특성을 가짐
- X선과 달리 인체유해성이 적으면서도 내부 관측이 가능
- 밀리미터파에 비해 파장이 짧아 고화소 카메라를 소형으로 제작 가능
- 유기물들의 결합 에너지에 따라 흡수가 달라져서 조성 분석도 가능
ㅇ 영상 시스템 현황 및 발전 전망
- 현재 반도체 패키지, 식품, 제약, 생체 조직 등 비금속 유전체로 구성된 다양한 소재의 내부 구조, 결함, 균열, 성분분포 등은 생산 공정 관리에 중요한 요소이나 기존 비전 시스템으로는 검사가 불가능한 상황임
- 반면에, 아래 표의 영상 검사 장비 기술의 현황에서 보는 것처럼 장파장의 밀리미터파나 THz파는 인체에 유해하지 않으면서도 유기물에 대해 높은 콘트라스트 구현이 가능하며, THz파는 밀리미터파보다 소형화에 유리함
- 아래 표에 기존 반도체 검사 기술의 장단점을 정리함. 반도체 검사 장비는 카메라 영상신호처리의 Machine vision 기술을 기반으로 생산 공정에서 발생가능한 각종 Crack이나 불완전한 접합, 결함 등을 검출하기 위해 필요
- 특히 반도체의 수율 개선에 필수적인 Crack 검출은 기존 영상 기술로는 대응이 사실상 어려운데, 고해상도의 THz 기술을 적용하면 대응이 가능
(출처 : 본문 : 제 1 장 서론 3p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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