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NTIS 바로가기주관연구기관 | 제주대학교 Cheju National University |
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연구책임자 | 최경현 |
참여연구자 | 신기현 , 안중용 , 이상호 , 민요셉 , 유재웅 , 송태준 , 이상진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005581 |
과제고유번호 | 1415166983 |
사업명 | 기계장비산업기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-30 |
키워드 | 선택적 박막 패터닝 증착.롤투롤 연속공정.롤투롤 기반 마스킹 공정.신축성 소자 연구.저온 상압 공정.롤투롤 ALD.Selective thin film patterning deposition.Roll to Roll continuous process.mask patterning process based roll to roll.flexible material pre/after-treatment.low temperature and atmospheric pressure condition process.Roll to Roll ALD. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
- 저온·상압 환경에서 고품질 및 고균일한 박막 패턴 제조가 가능한 선택적 박막 패턴 증착 공정을 위한 원천 기술 개발
● 나노급 고품질, 고균일성 박막 증착이 가능한 공간분할형 원자층 박막 증착용 헤드 개발
● 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 형성용 시스템 개발
● 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 공정용 광반응성 폴리머 소재 원천 기술 개발
● 원자층 박막 증착 공정에서 활용되고 있는 전구체의 반응성 한계를 보완하는 새로운 타입의 전구체 소재 원
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