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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경상대학교 GyeongSang National University |
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연구책임자 | 문상준 |
참여연구자 | 오원상 , 이재정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006143 |
DB 구축일자 | 2022-08-06 |
키워드 | 액체 질량 유량계.피에조 적층형 밸브.판스프링 밸브 시트.부품 국산화.기화기 복합체. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
현 시장에서 반도체 장비에 운용 중인 Horiba Tech의 LMFC 규격중 0.2 ~ 20g/min의 spec을 가지는 MFC의 국산화로 최종적인 목표는 같은 규격의 외산 장비 국산화에 있다. 또한, 기존 ㈜메카로에서 개발된 초음파 형식의 MFC센서를 탑재한 통합 제어 LMFC를 개발하고 이를 제품화하는 것을 목표로 하고 있다.
□ 개발내용 및 결과
1. LMFC 피에조 작동기 및 제어기
2. 정밀 경면 가공 기술과 작동기 설계 기술을 이용한 LMFC Actuato
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