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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국광기술원 Korea Photonics Technology Institute |
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연구책임자 | 김한필 |
참여연구자 | 남경한 , 기우성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-08 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006164 |
DB 구축일자 | 2022-08-06 |
키워드 | 미세패턴.일체형 점착 척.신뢰성.대형 디스플레이.증착공정. |
3. 개발결과 요약
최종목표
케코 도마뱀 형상을 적용 한 미세패턴 돌기를 갖는 대형 OLED 증착 공정 시 흡착/탈착이 가능 한 “일체형 점착 척 부품 개발”
① 섬모 돌기 구조 구현
- 케코 패턴 구현을 위한 시뮬레이션 및 디자인 설계
- 패턴 크기 10 ㎛ 이하 - 패턴 집적도: Pitch 간격 1:1
② 점착 척 패턴 전사를 위한 공정 최적화
- 포토 마스크 제작 → 현상 → 증착 → 에칭 → Master 제조→Thermal imprinting까지의 단계별 최적화
③ 점착 척
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