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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)세라컴 |
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연구책임자 | 이강홍 |
참여연구자 | 이혜용 , 강승민 , 이성철 , 이성갑 , 곽준식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-10 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200006203 |
과제고유번호 | 1415163661 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 알루미늄 나이트라이드.질화알루미늄.단결정.PVT법.HVPE법.AlN. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 물리기상전달법(PVT)에 의한 2인치 AlN 단결정 기판 개발
- 직경 : 2인치
- 결정품질(FWHM) : < 100 arcsec
- 유효사용면적 : > 90 %
- 표면거칠기(RMS surface roughness) : < 0.3 nm.
○ 화학기상증착법(HVPE)에 의한 대구경 AlN Template 개발
- 직경 : 6인치
- FWHM(102) : < 400 arcsec
□ 개발내용 및 결과
고주파를 이용한 유도가열 장비를
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