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Kafe 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 안일신 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-05 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006276 |
과제고유번호 | 1711092907 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-13 |
키워드 | 분광 타원해석기.이미징 타원해석기.박막.미세영역.광학모듈. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
- 100 마이크로미터 이하급 SE 개발
- 고속 측정, 공정 적용 가능한 IE 개발
□ 개발내용 및 결과
- 광대역 파장용 micro-spot SE 구현을 위해 색수차가 없는 reflective objective (RO)를 도입함. RO 내부 구조에 따른 입사각분포 및 편광오차를 최소화하는 기술을 연구 적용함
- 고속 및 미세영역 측정공정에 적용가능한 IE를 개발함. 원편광시스템을 이용한 고속측정 IE, 두 시편의 차이를 이미지화하는 비교형 IE 등을 개발함<
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
- 100 마이크로미터 이하급 SE 개발
- 고속 측정, 공정 적용 가능한 IE 개발
□ 개발내용 및 결과
- 광대역 파장용 micro-spot SE 구현을 위해 색수차가 없는 reflective objective (RO)를 도입함. RO 내부 구조에 따른 입사각분포 및 편광오차를 최소화하는 기술을 연구 적용함
- 고속 및 미세영역 측정공정에 적용가능한 IE를 개발함. 원편광시스템을 이용한 고속측정 IE, 두 시편의 차이를 이미지화하는 비교형 IE 등을 개발함
□ 기술개발 배경
- 반도체 및 디스플레이 등의 공정에 있어 미세영역 (scribe line, test pad 등)에 형성된 박막을 분석할 필요가 있는데 이 미세 영역의 크기는 점차 축소되고 있음
- 따라서, 초박막 두께 감도를 지닌 동시에 수십 마이크론 이하의 공간해상도를 가진 측정기술이 필요함
□ 핵심개발 기술의 의의
- Micro-spot SE의 경우: Spot-size에서는 세계최고기술 보유 기업 제품의 성능을 극복하되 표준화된 reflective objective의 사용으로 개발이 용이하도록 함. 추가적으로 spot size를 더 축소할 수 있는 기반 기술을 확보함.
- IE의 경우: 새로운 원리로 작동하는 기술을 개발함으로써 실용성과 경쟁력을 지님
□ 적용 분야
반도체 및 디스플레이 산업, 나노 및 바이오 연구분야 (박막 및 표면의 미세영역에 있어서의 두께 및 광특성 측정, 표면 오염 측정)
(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록 5p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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