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NTIS 바로가기주관연구기관 | 디바이스이엔지 |
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연구책임자 | 윤창로 |
참여연구자 | 이상호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-05 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006393 |
과제고유번호 | 1415158638 |
사업명 | 우수기술연구센터(ATC)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 복합공정.세정.진공건조.오엘이디.파인메탈마스크. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
- 건조 용액의 사용량을 90% 절감할 수 있는 메탈마스크 건조 공정 및 장치 기술 개발
- 유기물 세정액을 폐액처리 하지 않고 재생하여 사용할 수 있는 메탈마스크 세정 공정 및 장치 기술 개발
- 세정․건조 공정 중 FMM (Fine metal mask)에 잔류하는 이물질 분석 광학 측정 기술개발
□ 개발내용 및 결과
- 감압된 상태에서 휘발성 용제를 저온으로 기화하여 FM 마스크에 응축하여 수세 후 잔존하는 초순수를 치환 건조하는 기술을 이용하여 휘발성/인화
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