초록 ▼

제 1 장 서론
제 1 절 과제의 개요
○ 최근 다양한 소재의 첨단 재료들이 반도체나 디스플레이 산업의 소재로 사용되기 시작하면서, 단순한 형태적 영상 정보로만 측정/검사하는 것으로는 한계에 이르고 있음. 이러한 한계를 극복하기 위해 특성 영상화(property imaging) 기술에 대한 관심이 높아짐. 특성 영상화란 단순한 형태적인 영상이 아닌, 관찰 대상의 열특성, 화학 특성, 분광 특성 등을 영상화시킴으로써 기존의 광학적 영상만으로는 불가능했던 높은 콘트라스트의 이미징을 제공하여 새로운 측정/검사 기술로 주목 받고

제 1 장 서론
제 1 절 과제의 개요
○ 최근 다양한 소재의 첨단 재료들이 반도체나 디스플레이 산업의 소재로 사용되기 시작하면서, 단순한 형태적 영상 정보로만 측정/검사하는 것으로는 한계에 이르고 있음. 이러한 한계를 극복하기 위해 특성 영상화(property imaging) 기술에 대한 관심이 높아짐. 특성 영상화란 단순한 형태적인 영상이 아닌, 관찰 대상의 열특성, 화학 특성, 분광 특성 등을 영상화시킴으로써 기존의 광학적 영상만으로는 불가능했던 높은 콘트라스트의 이미징을 제공하여 새로운 측정/검사 기술로 주목 받고 있음.
○ 대표적인 특성 영상 기술인 라만 스펙트로스코피 현미경은 시료를 구성하는 분자의 구성 성분을 분석할 수 있기 때문에 화학적인 분석에 필수적인 연구기기로 활용되고 있음. 단색의 레이저 광원을 시료에 조사할 때 산란되는 빛의 일부는 시료의 진동모드의 주파수에 해당하는 만큼 빛의 주파수, 즉 파장이 변하게 되는 라만 이동(Raman shift) 현상이 발생한 스펙트럼을 분석하면 시료의 분자구조나 결정의 형태 및 대칭성에 대한 화학적 정보를 정확하게 분석할 수 있음.
○ 라만 스펙트로스코피 현미경은 미세 시료의 영상정보와 분광정보를 동시에 획득 할 수 있어 시료의 물리적 구조와 화학적 성분을 동시에 분석할 수 있는 기술로써, 물리, 재료, 화학, 생물 전 분야의 기초 연구 장치로 사용되어 왔으며, 이러한 연구들의 영향으로 반도체, 디스플레이 등의 첨단 제조 산업에서도 라만 스펙트로스코피 기술을 활용하기 위한 관심이 높아지고 있음. 그러나, 장치의 복잡성과 긴 측정 시간 등 현실적인 제한 사항으로 인해서, 이 기술을 생산 공정에 적용하는 시도는 그동안 상당히 소극적으로 시도되어 왔음. 특히, 라만 스펙트로스코피를 이용한 고분해능 영상 획득 기능을 산업 현장에서 활용하는데 있어서 가장 큰 걸림돌은 포인트 스캔 방식에 기반한 긴 측정 속도임.

(출처 : 본문 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 목차 ... 2
• 제 1 장 서론 ... 3
• 제 1 절 과제의 개요 ... 3
• 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 7
• 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 7
• 제 2 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 9
• 제 3 절 수행 결과의 보안등급 ... 11
• 제 4 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 11
• 제 3 장 결과 ... 12
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 12
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 12
• 2. 연구개발 추진 실적 ... 16
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 17
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 109
• 제 3 절 고용 창출 효과 ... 110
• 제 4 절 자체보안관리진단표 ... 111
• 제 4 장 사업화 계획 ... 112
• 제 1 절 시장 현황 및 전망 ... 112
• 제 2 절 사업화 계획 ... 114
• 제 3 절 향후 추가 기술 개발 계획(개발기술 응용 등) ... 117
• 부록. 시험성적서, 도면, 설계도 등 ... 118
• 끝페이지 ... 144