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NTIS 바로가기주관연구기관 | 원스 |
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연구책임자 | 박치열 |
참여연구자 | 김용대 , 황운봉 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-12 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006471 |
과제고유번호 | 1415161705 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 금속 마이크로 패턴 금형.전해주조금형.마이크로 분말사출성형.마이크로 핀 압전소자.마이크로 조리개 구조체. |
3. 개발결과 요약
※ 최종목표
금속 및 세라믹 마이크로 구조체 부품 제조를 위한 패턴 폭 150㎛이하 高종횡비(5이상) 분말사출 금형 및 성형기술개발
※ 개발내용 및 결과
□ 마이크로 패턴 금형 제조 플랫폼 기술개발
○ 리소그래피 기술 기반 마이크로 패턴 맨드렐(mandrel) 적정 제조기술
: (UV 리소그래피) 패턴 폭 130㎛ 이하, 패턴간격 100㎛ 이하, 종횡비 3이상
: (X-ray 리소그래피) 패턴 폭 130㎛ 이하, 패턴간격 70㎛ 이하, 종횡비 7 이상
○ 마이크로
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