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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아바텍 |
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연구책임자 | 윤병권 |
참여연구자 | 홍길수 , 허영우 , 김경국 , 김혁 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-01 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006472 |
과제고유번호 | 1415162351 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-27 |
키워드 | 비정질 투명전극.산화물.고유연성 디스플레이.스퍼터링 타겟.증착 공정. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 면상 비정질 구조를 갖는 다성분계 산화물 투명전극 개발
○ 핵심 특허 확보가 가능한 유연 투명디스플레이용 비정질 다성분계 산화물 조성 개발
○ 저온 (<350 ℃) 스퍼터링 방식의 증착 공정 기술 확립
: 투명 전극용 고유연성 기판 크기 = 450 ㎜(폭)
○ 비정질 다성분계 산화물의 대면적 타겟 재료 제조기술 확립
○ 다성분계 산화물 기반 스퍼터링 타겟 소재 개발 및 타겟 제작 : 타겟 Assy. 크기 = 4세대급
○ 시제품 2건 (투명전극 Film 1
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