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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔 |
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연구책임자 | 송수준 |
참여연구자 | 황용석 , 박만진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-08 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006586 |
과제고유번호 | 1415157098 |
사업명 | 기계산업핵심기술개발사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-19 |
키워드 | 고휘도 플라즈마 이온원.유도결합 플라즈마.마이크로웨이브 플라즈마.이온광학계.전자광학계. |
3. 개발결과 요약
최종목표
· 특정(관심)영역의 고밀도 이온빔 가공 및 전자빔을 이용한 계측(영상, 성분분석)장치 개발.
· 고밀도 플라즈마 이온원의 개발 및 특성평가 (유도결합플라즈마(ICP)/마이크로웨이브 플라즈마(ECR).)
· 집속 플라즈마 이온빔의 광학계, 전자빔 광학계, 고진공 스테이지, 고전압 및 제어 장치를 포함한 통합 시스템 구현.
· 시스템 통합 후 영상획득, 가공조건 확립, 성분분석 등 다기능화를 구현하기 위한 소프트웨어 기술개발.
개발내용 및 결과
1. 특정
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