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NTIS 바로가기주관연구기관 | 템퍼스 Tempus Inc. |
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연구책임자 | 이병수 |
참여연구자 | 이육현 , 김대현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-07 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007293 |
과제고유번호 | 1415152057 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 적외선.써모파일.어레이.프레넬 렌즈.화합물 반도체.Infrared.Thermopile.Array.Fresnel lens.Compound semiconductor. |
3. 개발결과 요약
최종목표
32x32 Thermopile array 센서 및 Fresnel Lens 일체형의 모듈 개발
∙ 32x32 Array 써모파일 센서 Design 및 제작
∙ 전용 Fresnel Lens 설계 및 제작
∙ Array 써모파일센서 양산 공정 개선 및 최적화 연구
∙ 센서 제작을 위한 MEMS 구조물 공정 개발
∙ 특성 평가 시스템, 보드 설계 및 제작
∙ Fresnel Lens 일체형 Package 기술 개발 및 제작
개발내용 및 결과
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