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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 채희엽 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007537 |
과제고유번호 | 1415153588 |
사업명 | 전자부품산업핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 수분투과방지막.유동화 화학기상증착.박막봉지.표면 평탄화기술. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
유동화 화학기상증착 공정으로 박막 표면의 평탄화를 이루어 수분투과경로가 되는 박막의 결함이나 particle의 영향을 줄이면서 무기박막을 형성하는 공정기술의 개발과 플렉시블 디스플레이의 수분투과방지막에 적용 가능한 적절한 전구체의 탐색
□ 개발내용 및 결과
저온 유동화 화학기상증착 공정을 통해 박막봉지 공정 중 발생하는 particle의 평탄화 기술 확보.
□ 기술개발 배경
유연 디스플레이 제조 공정에 요구되는 기술을 확보하여 디스플레이 장비의 국산화도를
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