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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 이연진 |
참여연구자 | 이현복 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007613 |
과제고유번호 | 1415157925 |
사업명 | 소재부품산업미래성장동력(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 발광다이오드.진공 동시증착.페로브스카이트.피복성.재현성.전자구조.고색순도.고효율. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 페로브스카이트 증착 챔버
● Base pressure ≤ 5×10-7 torr
● 증발원 5기 설치
● 동시증착 최대 3종
● 열처리 제어 스테이지 설치
● 가스 간섭 차폐막 설치
○ 페로브스카이트 증착 기술
● 도가니 노즐/내부플레이트 설계를 통한 증발형태 및 증착속도 정밀 제어
● 소스 간 증착속도 측정 간섭율 ≤5%
- 동시증착 속도 결정
● 높은 피복성 및 재현성 구현
- 핀홀면적 비율 ≤1%
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