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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 박인규 |
참여연구자 | 강민구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-01 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
등록번호 | TRKO202200009710 |
과제고유번호 | 1711151259 |
사업명 | 한국과학기술원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2022-09-24 |
키워드 | 금속산화물 나노 소재.반도체식 가스 센서.전자 코 시스템.딥러닝.Metal oxide nano materials.Semiconductor gas sensor.Electroninc nose system.Deep learning. |
Ⅳ. 연구개발결과
□ MEMS 마이크로 히터 플랫폼 기반 고 균일성 가스 센서 어레이 제작
∘ 경사 입사 증착법을 통해 균일한 성능의 가스 센서 어레이 제작
∘ 센서 소모 전력 ≈ 11 mW, 센서 반응 편차 < 10%
□ 실시간 가스 식별이 가능한 전자 코 시스템 구축
∘ 학습에 사용되지 않은 가스 센서 어레이가 적용 가능한 시스템 구축
∘ 실시간 가스 식별 정확도 ≈ 98%, 가스 농도 예측 오차 ≈ 10%
(출처 : 요약문 4p)
Ⅳ. RESULTS
□ Fabrication of high-uniform micro-heater platform-based gas sensor array
∘ Fabrication of gas sensor arrays with uniform performance
∘ Power consumption ≈ 11 mW, sensor response deviation < 10%
□ Build an electronic nose system that enables gas identification in real-tim
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