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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광운대학교 Kwangwoon University |
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연구책임자 | 김남영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-12 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202200012406 |
과제고유번호 | 1345345951 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-13 |
키워드 | 화합물 반도체.RF소자.무선.나노공정.공진기.Compound Semiconductor.RF Device.Wireless.Nano Process.Resonator. |
연구개발 목표 및 내용
최종 목표
RF 나노 수동집적회로(IPD) 공정기술의 RF 공진기 구현 및 바이오 센서 응용 연구를 목표로 함
전체 내용
연구진은 공진기의 구조를 이중 적층으로 설계하여 금속과 금속사이에 보다 많은 커플링을 이용하여 높은 Q factor를 갖는 공진기를 구현하고, 이중 적층의 인덕터는 air bridge, air bridge post, via 공정의 고난도의 설계와 공정기술을 연구하여 바이오 센서 응용에 활용
1단계 (해당 시 작성)
목표
RF 나노 수동집적회로(
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