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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전북대학교 Chonbuk National University |
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연구책임자 | 박광욱 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-03 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200013496 |
과제고유번호 | 1711148370 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-19 |
키워드 | 이황화하프늄.전이금속-다이칼코겐.CVD 성장.2차원물질.선택적영역성장.HfS2.TMD.CVD growth.2D material.SAG. |
□ 연구개요
본 과제는 반도체 소자 응용을 위한 HfS2 반도체 세그먼트의 선택적 영역 에피택셜 성장 기술 연구로서 thermal chemical-vapor deposition (CVD) 장비를 이용하여 HfS2의 성장 파라미터에 따른 성장 최적화 방법을 연구하고, 이를 토대로 선택적 위치에만 HfS2가 성장할 수 있도록 기판 위에 증착된 유전체에 음각 패턴을 형성 후 최적화 성장 조건으로 음각 패턴의 선택적 영역에 HfS2의 성장을 진행하였으며 전
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