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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 조준형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-03 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200013524 |
과제고유번호 | 1711144417 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-19 |
키워드 | 유압센서.반도체 압력센서.센서감도.저항센서.반도체 제조.Hydrostatic pressure sensor.Semiconductor stress sensor.Sensor sensitivity.Resistor sensor.Semiconductor Fabrication. |
□ 연구개요
p-n 저항 1쌍으로 구성된 유압 반도체 유압센서를 설계 및 제조(Fabrication)하고 감도를 수학적/실험적으로 측정/분석한다. 연구 범위를 확대하여 더 높은 감도 달성을 위해 p-n 저항 쌍으로 구성된 센서쌍을 reverse 형태로 추가 결합하여 완성되는 p-n저항 2쌍으로 구성된 유압 반도체 유압센서를 설계 및 제조(Fabrication)하고 감도를 수학적/실험적으로 측정/분석 한다. 본 연구에서는 유압센서 감도계수가 매우 낮은 점을 해결하고자 센서구조에 p-저항과 n-저항을 동시에 사용하였고 p-저항과
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