초록 ▼

□ 연구개요
- 반도체, LCD, 의료 등 같은 산업분야에서의 초고순도 물질의 수송용을 위한 이형 파이프 내면의 초정밀 자기연마가공기술의 개발을 위하여 (1) 영구자석을 이용하는 이형 파이프 외벽 접촉식 Pole Gap 유지 자기연마 가공 장치를 개발하여 일반적인 정형(원통-직선형) 파이프가 아닌 초고순도 물질 수송용을 위한 이형 파이프 내면 가공에 적용하여 내부 표면의 형상 정밀도를 향상 시키고, (2) 추가로 전자석의 장점을 적용하여 피가공물 형상에 따라 자기장의 세기를 조정하는 방식을 이용하는 가공장치를 개발하여 형상이

□ 연구개요
- 반도체, LCD, 의료 등 같은 산업분야에서의 초고순도 물질의 수송용을 위한 이형 파이프 내면의 초정밀 자기연마가공기술의 개발을 위하여 (1) 영구자석을 이용하는 이형 파이프 외벽 접촉식 Pole Gap 유지 자기연마 가공 장치를 개발하여 일반적인 정형(원통-직선형) 파이프가 아닌 초고순도 물질 수송용을 위한 이형 파이프 내면 가공에 적용하여 내부 표면의 형상 정밀도를 향상 시키고, (2) 추가로 전자석의 장점을 적용하여 피가공물 형상에 따라 자기장의 세기를 조정하는 방식을 이용하는 가공장치를 개발하여 형상이 복잡한 초고순도 물질 수송용을 위한 이형 파이프 내면을 초정밀 가공함으로써 이형 파이프 내면의 초정밀 자기연마 가공기술을 개발하였음.

□ 연구 목표대비 연구결과
1차년도 (2019.6.1.-2020.2.29.)
● 초고순도 물질 수송용 비정형 단면 초정밀가공시스템 시스템 설계 및 개발
- 원형 파이프 포함하여 비정형 파이프 내면 초정밀 가공 가능
- 파이프의 직경이 서로 다른 파이프 내면 초정밀 가공 가능
● 영구자석을 이용한 자극부 Pole Gap 유지 시스템 개발
● 자극부의 왕복 운동을 통한 가공 효율 향상 시스템 개발
● 단면 비정형 파이프 내면 자기연마를 통한 장비 검증 및 자기연마기술 개발

2차년도 (2020.03.01.-2021.02.28.)
● 초고순도 물질 수송용 축방향 비정형 파이프 왕복 이동 제어 시스템 설계 및 개발
- 입구와 출구의 직경이 다른 축방향 비정형 파이프 내면 초정밀가공 가능
● 전자석을 이용한 자기장세기 제어 시스템 개발
- 자기장 세기 제어를 통한 축방향 비정형 내면 파이프의 초정밀 자기연마가공이 고르게 진행 가능
● 축방향 비정형 파이프 내면 자기연마를 통한 장비 검증 및 평가 진행함

3차년도 (2021.03.01.-2022.02.28.)
● ４축 초정밀 파이프 자기연마 가공기술 개발
● 초고순도 물질 수송을 위한 이형 파이프 ４축 자기연마 가공 시스템 설계 및 개발
● ４축 자기연마 가공장치 개발
● 이형 원통가공물에 대한 자기연마가공을 실시하여 장비 검증

□ 연구개발성과의 활용 계획 및 기대효과(연구개발결과의 중요성)
- 본 연구에서는 반도체, LCD, 의료 등 분야에 사용되는 초고순도 물질 수송용 파이프 내면 초정밀 가공 장비제작에 응용하여 기술을 개발함으로써 고순도 물질 수송용 비정형 파이프의 내면 초정밀 가공이 어려운 점을 극복할 수 있으므로 반도체, LCD, 의료 분야에 사용되는 초고순도 수송용 비정형 파이프의 국산화를 실현할 수 있음.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 1.1 연구 필요성 ... 4
• 1.2 연구의 목표 및 내용 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 11
• 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 11
• 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 11
• 3) 목표 달성 수준 ... 12
• 4) 목표 미달 시 원인 분석 ... 12
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 13
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 13
• 6. 참고문헌 ... 14
• [붙임1] 세부 정량적 연구개발성과 ... 15
• [붙임2] 연구책임자 대표적 연구실적 및 증빙(요약문 및 사본) ... 18
• 끝페이지 ... 28