초록 ▼

□ 목표 제품·서비스
○ 전원공급에 대한 제약이 없는 가스감지기를 이용하여 가스의 내부 및 외부 배관과 가스 보관실 등에 설치하여 가스누출을 감지
- 고온 동작이 가능한 저전력 MEMS 마이크로히터를 사용하여 배터리 모드의 동작이 가능
- 패키지 탑재형 이종 가스 유입방지 필터를 적용하여 선택성을 향상
- 가스 감지기에 탑재하여 도시가스 배관 및 저장고 주변의 가스 누출 감지
○ 초기에는 지자체와 협력하여 지역 도시공사의 시범사업 형태로 진행하여 실증작업을 하고 이를 기반으로 서비스 확대

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□ 목표 제품·서비스
○ 전원공급에 대한 제약이 없는 가스감지기를 이용하여 가스의 내부 및 외부 배관과 가스 보관실 등에 설치하여 가스누출을 감지
- 고온 동작이 가능한 저전력 MEMS 마이크로히터를 사용하여 배터리 모드의 동작이 가능
- 패키지 탑재형 이종 가스 유입방지 필터를 적용하여 선택성을 향상
- 가스 감지기에 탑재하여 도시가스 배관 및 저장고 주변의 가스 누출 감지
○ 초기에는 지자체와 협력하여 지역 도시공사의 시범사업 형태로 진행하여 실증작업을 하고 이를 기반으로 서비스 확대

□ 과제목표 및 내용
○ 도시가스 시설의 가스누출 및 사고를 미연에 방지하기 위해서는 도시가스의 주성분인 메탄가스를 주기적으로 감지할 수 있는 자동화된 감지시스템의 적용이 요구됨
○ 반도체식 메탄가스의 선택성 개선을 위하여 필요한 필터를 개발하여 센서패키지에 적용하고 이를 배터리 동작모드의 스마트감지기에 적용 가능한 형태의 모듈화

□ 과제 추진방안
○ 기술의 사업화를 위해서는 성능의 확보가 우선되어야 하므로 현재 수준의 MEMS 마이크로히터 기술에서 추가로 고온을 안정적으로 발생할 수 있는 형태로 개선이 필요
○ 히터 패턴을 멤브레인의 상단으로 이동하여 단층구조로 변경함으로써 소재에 직접적으로 히터의 열이 인가될 수 있는 구조로 변경하여 동일 전력에서 높은 온도를 구현
〇 주관기관의 MEMS 구조개선 및 소재개발을 진행하고 공동연구기관에서 패키지 실장 기술개발 및 테스트를 진행

□ 기대효과
○ 반도체식 가스센서를 적용할 경우 MEMS 기반의 마이크로히터를 적용한 저전력의 가스센서의 구현이 가능하게 되어 감지기의 전력소모를 감소할 수 있으며 반도체 공정의 적용으로 대량생산 시가격의 절감을 기대할 수 있음
○ 센서의 저전력 특성은 최근 제품의 추세인 배터리를 사용하는 무선통신 방식의 스마트감지기에 적용이 가능하므로 신규 시장의 진입이 가능

(출처 : 요약서 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 최종보고서 ... 3
• 제출문 ... 4
• 요약서 ... 5
• 목차 ... 6
• I. 과제 개요 ... 7
• 1. 과제의 개요 ... 7
• 2. 과제 목표 및 내용 ... 8
• 3. 과제 추진전략 ... 10
• 4. 과제 추진 필요성 및 내용 ... 12
• II. 과제 수행 결과 ... 20
• 1. 과제 추진 결과 ... 20
• 2. 과제수행 추진일정 ... 42
• 3. 사업화 계획 및 기대효과 ... 44
• III. 연구개발비 사용실적 ... 50
• 1. 예산 및 인력 운영현황 ... 50
• 2. 연구개발비 집행 ... 51
• 끝페이지 ... 54