초록 ▼

□ 기업의 애로사항
○ 최근 반도체 및 디스플레이 산업은 높은 제진성능을 요구하고 있으며 해외 선진사에서 독과점의 형태로 제진 시스템의 비용이 장비에서 많은 비중을 차지하고 있음
○ 이노6를 포함한 국내의 우수한 스테이지 업체는 이송 시스템 기술로 충분한 경쟁력이 있으나 제진 시스템의 영향으로 납품에 어려움이 있음
○ 수요 기업은 우수한 정밀 이송시스템을 개발하는 업체로서 제진 시스템 개발을 통해 이송 시스템의 다각화를 진행하려고 하지만 제진 시스템에 대한 핵심 요소기술이 부족하여 이에 대한 연구가 필요함

□ 기업의 애로사항
○ 최근 반도체 및 디스플레이 산업은 높은 제진성능을 요구하고 있으며 해외 선진사에서 독과점의 형태로 제진 시스템의 비용이 장비에서 많은 비중을 차지하고 있음
○ 이노6를 포함한 국내의 우수한 스테이지 업체는 이송 시스템 기술로 충분한 경쟁력이 있으나 제진 시스템의 영향으로 납품에 어려움이 있음
○ 수요 기업은 우수한 정밀 이송시스템을 개발하는 업체로서 제진 시스템 개발을 통해 이송 시스템의 다각화를 진행하려고 하지만 제진 시스템에 대한 핵심 요소기술이 부족하여 이에 대한 연구가 필요함

□ 지원(해결) 내용
○ 하이브리드 제진 요소 기술 개발 및 테스트베드 구축
- 하중 보상력 조정 모듈 및 조정 시 발생하는 수평력에 대한 보상 가이드가 포함된 패시브 제진기술 개발
- 고효율 전자기 구동기 개발, 위치 기반 측정 시스템 개발을 통한 액티브 제어 요소기술 확보
- 패시브 시스템 테스트베드 구축

□ 연구개발 성과
○ 정성적 성과
- 하중 보상력 조정이 가능한 패시브 시스템 설계 기술 확보
- 고효율 전자기 구동기 확보
- 위치 기반 측정 시스템 확보
- 패시브 시스템 테스트베드 확보
○ 정량적 성과
○ 기술스펙 달성 성과

□ 기술적 우수성
○ 반도체 및 디스플레이 산업은 공정상 장비의 고정밀도를 요구하고 있으며 이에 대응하기 위해 능동 제어가 가능한 하이브리드 제진 시스템을 적용하여 내부 진동 및 주변 환경의 진동과 같은 외란의 영향을 최소화 가능
○ 레벨링 조정이 가능한 패시브 모듈, 액티브 제진 제어를 위한 구동기 모듈 및 센서 가이드 모듈 등 하이브리드 제진시스템에 필요한 핵심요소기술을 확보하여 해외 선진사와 경쟁이 가능하도록 발판을 마련

□ 성과활용 계획
○ 하이브리드 제진 시스템의 요소기술 개발로 제진에 대한 원천기술을 확보
○ 수요 기업이 보유한 이송시스템 기술과 결합을 통해 해외 선진사와 경쟁이 가능한 반도체 및 디스플레이 공정장비 개발 기술 확보 예정
○ 하이브리드 제진 시스템을 수요 기업의 장비에 적용하여 제진 성능을 검증하고, 내구성 테스트 등 상용화를 위한 시험 분석 진행 예정
○ 장비 비용을 최소화할 수 있게 시스템 최적화 진행 예정
○ 제진 성능 검증을 통한 기술이전 및 상용화 예정

(출처 : 지원 사례 요약 4p)