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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 이학준 |
참여연구자 | 구정인 , 김철호 , 안종욱 , 이천규 , 정안목 , 조규중 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-11 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300004578 |
과제고유번호 | 1711175201 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2023-08-09 |
키워드 | 다중작업 학습모델.모션 스테이지.리니어 모션 가이드.에어베어링.소프트웨어 플랫폼.Multi-task Learning.Motion stage.Linear motion Guide.Air-bearing.Softwafer Platform. |
□ 연구내용
- 반도체/디스플레이용 초정밀 스테이지의 공정 조건 최적화 기술 개발
[1차년도 연구내용]
○ LM 가이드 타입 초정밀 모션 스테이지의 모션 궤적 추정 모델 개발
○ AI기반의 모션 궤적 실시간추정을 위한 데이터 수집/전처리/모델링 SW 개발
○ LM 가이드 타입 초정밀 모션 스테이지 모션 궤적 추정 모델 학습 및 적용
□ 연구개발 성과
○ 정성적 성과
- LM 가이드 타입 초정밀 모션 스테이지 파이썬 이론 모델 구축 완료
- LM 가이드 타입 초정밀 모션 스테이지
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