최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
---|---|
연구책임자 | 장경순 |
참여연구자 | 장재혁 , 최창민 , 유승조 , 이지현 , 이상길 , 김학남 , 차소영 , 백지영 , 최미라 , 김민성 , 이규영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-12 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300005183 |
과제고유번호 | 1711123570 |
사업명 | 한국기초과학지원연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2023-08-16 |
키워드 | 반도체.디스플레이.특성분석.질량분석.전자현미경.Semiconductor.Display.Characterization.Mass spectrometry.Electron microscopy. |
□ 연구의 목적 및 내용
본 연구에서는 국내 차세대 반도체·디스플레이 산업현장에서 첨단 신소재 원천기술 확보에 필요한 다차원 융합 특성분석기술을 개발하여 현장 수요에 활용할 수 있는 통합플랫폼을 구축하는 것을 목표로 함.
(1) 신소재 원료 내 극미량 불순물 성분 규명 분석기술 개발
- 초고분해능 질량분석기와 고자장 NMR을 활용한 원료 내 극미량 불순물 분석법 개발
- 수차보정 전자현미경을 활용한 디스플레이 소자 표면 불순물 원자구조 분석법 개발
- 소자 성능 저하 및 불량의 원인이 되는 불순물 통합검출
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.