초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
Skin effect는 ICP 플라즈마에서의 전자 가열 및 전력 흡수뿐 아니라 전자기장의 분포를 지배하는 기본 작동 원리이므로, 본연구에서는 침투 된 전자기장의 차폐(screening), 비정상적인 전력 흡수 (anomalous power absorption) 및 전자파의 공진상호 작용으로 인한 전자 가열과 같은 비정상적인 skin effect를 이론적으로 해석하여 ICP 장치 내에서의 에너지 흡수 원리를 밝히고자 한다. 나아가 외부 자기장이 미치는 영향과 resonance hea

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
Skin effect는 ICP 플라즈마에서의 전자 가열 및 전력 흡수뿐 아니라 전자기장의 분포를 지배하는 기본 작동 원리이므로, 본연구에서는 침투 된 전자기장의 차폐(screening), 비정상적인 전력 흡수 (anomalous power absorption) 및 전자파의 공진상호 작용으로 인한 전자 가열과 같은 비정상적인 skin effect를 이론적으로 해석하여 ICP 장치 내에서의 에너지 흡수 원리를 밝히고자 한다. 나아가 외부 자기장이 미치는 영향과 resonance heating에 의한 anomalous power absorption의 원리를 이론적으로 연구한다.

○ 전체 내용
본 연구에서는 parametric oscillating two-stream instability (P-OTSI)를 ICP 플라즈마에 적용하여 전자기파와 플라즈마의 상호작용에 의한 비정상 Skin 효과에 의한 anomalous power absorption 현상을 다루고자 한다.
1. Unmagnetized ICP 플라즈마에서의 oscillating two-stream instability 이론 해석
2. Magnetized ICP 플라즈마에서의 oscillating two-stream instability 이론 해석
3. Helicon 플라즈마의 skin layer에서의 전자가열 메카니즘
4. 각각의 Oscillating two-stream instability의 saturation level 계산
5. 비선형성에 의한 난류 현상 및 이로 인한 전자 가열 현상


□ 연구개발성과
이 프로젝트에서, 우리는 적용된 전자기파의 공간적 불균일성을 고려하여 유도성 및 헬리콘 플라즈마 소스의 플라즈마 안정성 이론을 개발했다.

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
프로젝트에서 개발된 이론은 RF 파동의 변칙적 흡수와 ICP 및 헬리콘 플라즈마의 변칙적인 가열 전자의 주요 비선형 효과를 결정하고 이러한 효과와 산업용 유도 및 헬리콘 플라즈마 소스에서의 역할에 대한 분석적 예측을 제공한다.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 4
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 46
• 1) 연구수행 결과 ... 46
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 47
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 47
• 6. 참고문헌 ... 47
• 끝페이지 ... 47