초록 ▼

□ 연구개요
기존 연성기판 기반 표면 미세구조물 형성 기술의 한계를 극복하기 위해 구조광 기반 분자정렬 기술을 개발하고자 함. 단순히 기존 패턴 형성 시스템의 개선이나 확장이 아닌, 자유도가 높은 복합 미세구조체를 2차원/3차원 표면에 구현하는 것을 목표로 하며, 층 변형 역학 (layer bending mechanics) 에 대한 기초 연구와 이에 대한 모델링 그리고 다양한 분야에 응용할 수 있는 미세구조물 형성에 관한 핵심기술 개발을 지향

□ 연구 목표대비 연구결과
○ 공간 광변조 핵심기술 개발 및 선택적

□ 연구개요
기존 연성기판 기반 표면 미세구조물 형성 기술의 한계를 극복하기 위해 구조광 기반 분자정렬 기술을 개발하고자 함. 단순히 기존 패턴 형성 시스템의 개선이나 확장이 아닌, 자유도가 높은 복합 미세구조체를 2차원/3차원 표면에 구현하는 것을 목표로 하며, 층 변형 역학 (layer bending mechanics) 에 대한 기초 연구와 이에 대한 모델링 그리고 다양한 분야에 응용할 수 있는 미세구조물 형성에 관한 핵심기술 개발을 지향

□ 연구 목표대비 연구결과
○ 공간 광변조 핵심기술 개발 및 선택적 광 분자 정렬 기술 연구
1) 구조광 패턴기반 그레이스케일 리소그래피 기술 설계
2) 선택적 광분자 정렬 핵심 기술 설계
3) 도입된 패턴과 프로그램되는 구조간 패턴-구조상관관계 시뮬레이션
4) 단방향 표면 미세구조체 형성 기술 개발 및 특성평가
○ 표면 다중 미세 패턴 제어 기술 개발 및 곡면 미세 구조체 형성 연구
1) 그레이스케일 패턴 기반 이미지 프로세싱 기술 개발
2) 다중방향 마이크로 구조체 미세 제어 연구
3) 다중 방향 구조체간 분해능 향상 연구
4) 곡면에 따른 공간 광변조 기술 연구
○ 표면 다중 미세 패턴 최적화 및 응용기술 개발
1) 표면 미세구조체 최적화 연구
2) 위변조 방지 응용 기술 개발
3) 무반사 디스플레이 및 고효율 전기광학 소자 응용 기술 개발
4) 이종 물질 표면 미세 구조체 형성 기술 개발
5) 다층 박막 구조 내 표면 미세 구조체 형성 기술 개발

종합
○ 공간 광변조 핵심기술 개발 및 선택적 광 분자 정렬 기술 및 핵심적인 표면 다중 미세 패턴 제어 기술 개발 및 곡면 미세 구조물 형성 개발 완료
○ 이종 물질 및 다중 구조체 기술 개발 진행 중

□ 연구개발성과의 활용 계획 및 기대효과(연구개발결과의 중요성)
■ 학문적 파급효과
- 기존 포토리소그래피 기반 패턴 형성 기법을 대체할 수 있는 원천기술로 지속적인 연구 수요가 있을 것으로 예상되고, 대중화 전에 원천기술을 선점함으로써 추가적인 연구 수요에 있어서도 지속적인 연구의 리더십을 가져갈 수 있음.
- 그레이스케일 패터닝 기반의 다중 분자정렬기술의 높은 계조표현과 5 μm이하의 해상도를 패터닝할 수 있는 수준으로 기존기술대비 한 단계 기술적 진보가 이루어지는 것으로 free-form 형태의 미세패턴을 형성하기 위한 핵심기술이 될 수 있을 것으로 판단됨.
■ 산업적 파급효과
- 전자부품 등에서도 위변조에 대한 심각성이 대두되고 있으며, 삼성전자 및 애플 등 world leading companies에서 많은 관심을 가지고 투자를 준비 중인 위변조 방지 기술 관련 원천 기술 확보하여, 경제적 효과 예상.
- 고효율 태양광발전 및 디스플레이 소자에 경제적인 제작기법을 선점할 경우 경제적 효과 예상.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 5
• 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 6
• 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 10
• 3) 목표 달성 수준 ... 10
• 4) 목표 미달 시 원인 분석 ... 11
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 11
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 12
• 6. 자체점검표 ... 12
• 7. 참고문헌 ... 13
• 붙임1. 세부 정량적 연구개발성과 ... 14
• 붙임2. 연구책임자 대표적 연구실적 및 증빙(요약문 및 사본) ... 18
• 끝페이지 ... 26