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반도체 생산에서 정체관리 흐름 공정에 대한 웨이퍼 투입 및 일정계획 연구
Study on wafer lot input control and scheduling for the flow shop subject to waiting time constraints in semiconductor manufacturing system 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 강원대학교
Kangwon National University
연구책임자 이주용
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2023-03
과제시작연도 2022
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202300008576
과제고유번호 1711162428
사업명 개인기초연구(과기정통부)
DB 구축일자 2023-09-26
키워드 일정계획.반도체 생산.대기시간 제약.흐름공정.scheduling.semiconductor manufacturing.waiting time constraint.flow shop.

초록

□ 연구개요
본 연구과제에서는 반도체 생산에서 정체관리 흐름공정에 대한 웨이퍼 로트 투입 및 스케줄링 방법론을 개발을 목표로 한다. 정체관리란, 현재 설비에서 다른 웨이퍼로트의 작업이 진행 중이어서 이전 공정을 완료한 웨이퍼 로트가 바로 투입되지 못하고 대기해야 하는 상황일 때, 대기 가능한 시간을 제약하는 것을 말한다. 따라서 정체관리 흐름공정이란, 이전 공정을 완료한 웨이퍼 로트가 현재 공정의 설비에 투입되기 전까지 대기할 수 있는 시간에 제약이 있는 흐름공정이다. 즉, 정체관리 흐름공정에서는 이전 공정을 완료한 웨이퍼 로

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연구결과 요약문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
  • 1) 연구개발의 목적 ... 4
  • 2) 연구개발의 필요성 ... 4
  • 3) 연구개발의 최종목표 ... 5
  • 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
  • 1) 대기시간 제약과 순서의존 작업 준비시간이 있는 흐름 공정에 대한 스케줄링 ... 5
  • 2) 대기시간 제약과 긴급주문 작업을 고려하는 흐름 공정에 대한 스케줄링 ... 7
  • 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 10
  • 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 10
  • 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 10
  • 3) 목표 달성 수준 ... 10
  • 4) 목표 미달 시 원인 분석 ... 10
  • 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 11
  • 1) 연구과제의 기대효과 ... 11
  • 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 11
  • 1) 연구과제의 활용방안 ... 11
  • 2) 추가연구의 필요성 ... 12
  • 6. 참고문헌 ... 14
  • 붙임1. 세부 정량적 연구개발성과 ... 15
  • 붙임2. 연구책임자 대표적 연구실적 및 증빙(요약문 및 사본) ... 17
  • 끝페이지 ... 29

표/그림 (8)

참고문헌 (25)

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