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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 김영민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-03 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300008598 |
과제고유번호 | 1711156622 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부) |
DB 구축일자 | 2023-09-27 |
키워드 | 주사투과전자현미경.에너지분산 X-선 분광 분석.원자 위치 맵핑.화학 원소 맵핑.도핑 원소 측정.Scanning transmission electron microscopy.Energy dispersive X-ray spectroscopy.Atom position mapping.Chemical element mapping.Doping element measurement. |
□ 연구개요
❍ 기능성 나노 소재의 원자구조-화학분포 분석뿐만 아니라 유닛셀 안에서 피코스케일로 변화하는 원자의 미세 변위까지 동시에 측정 가능한 컴퓨팅 기반 혁신적 STEM-EDX 화학분석기술의 개발
❍ 선도적/혁신적 피코스케일 STEM-EDX 화학맵핑 기술 개발 성공을 위한 연구 내용은 3단계의 요소기술 개발로 구성되며 하기와 같다.
❍ Phase I (1차년도): Sub-Å급 주사 전자 탐침을 이용한 3차원 에너지 분산 X-ray (EDX) 스펙트럼 이미징 기술 개발 (분해능 < 2Å, 검출하한 < 1-at%
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