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표면결함 없는 무기분자선 개발을 통한 반도체 집적화 한계 극복기술 개발
Development of Surface Defect-free materials to overcome the integration limitation of semiconductor device 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 성균관대학교
SungKyunKwan University
연구책임자 최재영
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2023-03
과제시작연도 2022
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202300010305
과제고유번호 1711163236
사업명 개인기초연구(과기정통부)
DB 구축일자 2023-10-11
키워드 1차원 물질.단결정 합성.박리법.양자구속효과.나노 물질.1D material.Single crystal synthesis.Exfoliation.Quantum confinement effect.Nano material.

초록

□ 연구개요
● 차세대 미래 소자를 위해서는 반도체 소자 기술을 10nm 이하의 반도체 소자로 적용할 수 있는 신소재가 요구되고 있고, 이를 위해서는 기존 bulk물질, 2차원 물질에서 보이는 문제들이 근본적으로 해결된 물질이 필요하다.
● 본 과제는 기존 나노소재 및 2차원 소재의 한계를 극복할 수 있는 물질로서, 1차원 무기분자선들이 반데르왈스 인력에 의해 결정을 이루는 벌크물질로부터 얻어낸 ‘사슬살 반데르왈스 물질’을 제안함. 시뮬레이션을 활용하여 반데르왈스 인력에 의하여 1차원의 결정구조를 갖는 다양한 단결정 물질

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 연구결과 요약문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
  • 1.1 연구개발의 목표 ... 4
  • 1.2 세부 연구 목표 ... 4
  • 1.3 연구의 최종목표 ... 5
  • 1.4 연구의 필요성 ... 6
  • 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 6
  • 2.1 단결정 사슬상 반데르왈스 물질 발굴 ... 6
  • 2.2 단결정 사슬상 반데르왈스 물질 합성 ... 7
  • 2.3 단결정 사슬상 반데르왈스 물질 분리 ... 8
  • 2.4 1차원 무기분자선 개발 ... 9
  • 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 11
  • 3.1. 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 11
  • 3.2. 세부 정량적 연구개발성과 ... 12
  • 3.3. 목표 달성 수준 ... 12
  • 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 15
  • 4.1. 신물질 개발을 통한 기존소재 한계 극복 방안 제시 ... 15
  • 4.2. 1차원 무기분자선 소재를 통한 신 물리 소자 개발 ... 16
  • 4.3. 반도체 및 신소자 국가경쟁력 향상 ... 16
  • 4.4. 새로운 소재분야 선점을 통한 시장 경쟁력 확보 ... 16
  • 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 17
  • 5.1. 연구 개발 성과 관리 추진체계 ... 17
  • 5.2. 연구개발 결과의 활용방안 ... 17
  • 5.3. 추가 연구의 필요성 ... 18
  • 6. 자체점검표 ... 19
  • 7. 참고문헌 ... 20
  • 붙임1. 세부 정량적 연구개발성과 ... 22
  • 붙임2. 연구책임자 대표적 연구실적 및 증빙(요약문 및 사본) ... 41
  • 끝페이지 ... 56

표/그림 (8)

참고문헌 (25)

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