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NTIS 바로가기주관연구기관 | 세종대학교 Sejong University |
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연구책임자 | 홍영준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-03 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202300010892 |
과제고유번호 | 1711170410 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부) |
DB 구축일자 | 2023-10-11 |
키워드 | 리모트 에피택시.그래핀.박리.유연소자.Remote Epitaxy.μLED.Graphene.Exfoliation.Flexible Device. |
□ 연구개요
본 연구는 2차원 원자층 나노소재를 코팅한 웨이퍼 위에 리모트 에피택시로 결정학적 배향성과 결정성이 우수한 반도체 마이크로 이종구조 어레이를 막대 내지는 디스크 형태로 원하는 위치에 제조하고, 이를 활용하여 상부의 μLED 어레이를 통째로 박리하고, 유연성을 지닌 템플릿에 전사하여 플렉서블 발광소자 및 마이크로픽셀 디스플레이 플랫폼을 제조하는 것을 목표로 하였다.
본 연구는 고품질의 발광 광원 제조, 전사 정렬 정밀도 향상, 기판 재활용 등의 응용에 그 목적이 있다. 리모트 에피택시는 기판과 에피택시 층이 화
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