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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 Kyung Hee University |
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연구책임자 | 박윤석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-06 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202300012152 |
과제고유번호 | 1711172306 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부) |
DB 구축일자 | 2023-10-25 |
키워드 | 3차원 소자.압력센서.압전 저항형 센서.무선플랫폼.바이오전자소자.3D structure.Pressure Sensor.Piezoresistive sensor.Wireless Platform.Bioelectronics. |
□ 연구개요
본 연구에서는 마이크로 공정을 사용하여 기판(Polyimide)/금속(Au)/기판/금속/기판)을 가지는 휘스톤브릿지 압력 센서를 완성하였고, 제작된 센서를 3차원 구조로 구현하여 피부의 압력을 측정하였다.
본 연구에서 개발된 3차원 마이크로 센서는 외부에서 인가되는 압력을 안정적으로 측정하기 위해 유연 탄성체로 봉지되어 낮은 압력 변화를 측정할 수 있으며, 추가적인 기계 구조체로 센서의 안정성을 높였다.
UV 레이저 패터닝 공정을 통해 10-20 μm 선폭을 가지는 전선을 유연 회로 기판에 구현하고, 제
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