초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
무손상 활성입자 빔 제어를 통한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상

○ 전체 내용
활성입자 빔 (electron beam, ion beam, laser beam) 제어 및 적용을 통한 마이크로 LED의 외부양자효율 극대화 연구 수행

○ 1단계
□ 목표
무손상 활성입자 빔 제어를 통한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상
□ 내용
◦ Electron beam 및 ion beam irradiation 제어를 통한 마이크로 LED의

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
무손상 활성입자 빔 제어를 통한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상

○ 전체 내용
활성입자 빔 (electron beam, ion beam, laser beam) 제어 및 적용을 통한 마이크로 LED의 외부양자효율 극대화 연구 수행

○ 1단계
□ 목표
무손상 활성입자 빔 제어를 통한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상
□ 내용
◦ Electron beam 및 ion beam irradiation 제어를 통한 마이크로 LED의 광출력 향상 연구
◦ 무손상 Light Extractor 공정개발 및 이를 적용한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상 연구
◦ Laser beam 제어 및 적용을 통한 초소형 마이크로 LED의 광출력 향상 연구

□ 연구개발성과
◦ 무손상 활성입자 electron beam irradiation 공정 기술 개발 및 적용으로 마이크로 LED의 광 출력 향상 기술 개발. (광 출력 14 % 향상)
◦ 무손상 Light Extractor 공정 개발 및 이를 적용한 초소형 마이크로 LED의 광 출력향상 기술 개발. (광 추출 효율 향상 구조 제안)
◦ 무손상 스퍼터링과 hydrothermal growth를 이용하여 Light Extractor 형성 기술 개발. (광 출력 16 % 향상)
◦ Laser beam 제어를 통한 마이크로 LED 무손상 surface texture 구조 형성 기술 개발. (광 출력 56 % 향상)
◦ Surface texture를 통한 wave manipulation으로 마이크로 LED의 광 출력 향상 기술 개발. (광 출력 2.6 % 향상)
◦ 무손상 electron beam 조사 유무에 따른 초소형 red 마이크로 LED의 광 출력 향상 기술 개발. (광 출력 4 % 향상)

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
◦ 본 과제 기간 미국, 일본, 독일과 같은 선진사에서도 보고되지 않은 새로운 무손상 활성입자 빔 제어를 통한 마이크로 LED 소자 광 출력 향상 기술 개발임.
◦ 무손상 활성입자 빔 제어를 통한 기술 개발은 광 소자뿐만 아니라 다양한 질화갈륨 기반 소자 (질화갈륨 기반 전력 소자 및 센서 소자 등)에 활용할 계획임.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 1.1 연구개발의 필요성 및 목표 ... 4
• 1.2 연구범위 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• 2.1 연구수행내용 및 연구결과 ... 5
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 9
• 1) 연구수행 결과 ... 9
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 17
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 17
• 6. 참고문헌 ... 17
• 끝페이지 ... 17