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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 구민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-02 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202300012924 |
과제고유번호 | 1345300248 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2023-10-25 |
□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
대량생산에 적합한 중성 전하 입자 샤워링을 이용한 빠른 대면적 블록공중합체 어닐링 공정 개발 및 중성 전하 입자 소스 설계/제작
○ 전체 내용
어닐링 면적: > 4 inch wafer, 공정시간: < 10 min.
Critical dimension: < 8 nm (High-χ BCPs)
□ 연구개발성과
중성 전하 입자 발생 소스의 최적화 및 블록공중합체 중성 전하 입자 어닐링 공정 개발
□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
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