최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
---|---|
연구책임자 | 안진호 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-10 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202300028762 |
과제고유번호 | 1711142560 |
사업명 | 국가간협력기반조성(R&D) |
DB 구축일자 | 2023-12-11 |
키워드 | 극자외선 노광 기술.극자외선 마스크.극자외선 펠리클.이미징 성능.광학적 특성.열적 내구성.금속 화합물.EUV lithography.EUV mask.EUV pellicle.Imaging properties.Optical properties.Thermal durability.Metallic compound. |
① 연구개발 목표
본 과제의 목표는 다양한 EUV 소재 평가를 통해 신뢰성이 검증된 스위스 Paul Scherrer Institute의 RESCAN을 활용하여 공동 연구를 진행, 최종적으로 상용화 가능한 수준의 극자외선 노광 기술용 마스크 및 펠리클을 제작하는 것임. 3차년도 세부목표는 아래와 같음
○ EUV 펠리클용 보강층 신소재 및 멤브레인 제작 공정 개선 및 기초 특성 평가
- 증착 조건 및 후처리 공정에 따른 박막 물성 데이터베이스 확보
- 멤브레인 제작을 위한 식각 공정 기술 개발 (30x30
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.